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產品展示

高純四氟化碳

質量標準:

分子式:CF4                             分子量:88.005

項目

指標

四氟化碳純度(CF4) 10-2(v/v)  ≥

99.999

氧氣(O2) 10-6(v/v) ≤           

1

氮氣(N2) 10-6(v/v) ≤                                         

4

水分(H2O) 10-6(v/v) ≤                                           

1

二氧化碳(CO2) 10-6(v/v) ≤      

1

一氧化碳(CO) 10-6(v/v) ≤   

0.3

酸度(以HF計) 10-6(m/m) ≤

0.1

其他氟碳化合物 10-6(v/v) ≤

1

六氟化硫(SF6) 10-6(v/v) ≤

1

雜質總和 10-6(v/v) ≤                   

10

性狀:
四氟化碳相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。熔點(101.325kPa):-186.8℃;沸點(101.325kPa):-128.0℃;液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m³;氣體密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m³。
用途:
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻;在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于化學穩定性極強,四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。四氟化碳的溶氧性很好,被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。
貯存:
應存放于陰涼干燥、通風良好的場所。
運輸:
運輸時,四氟化碳氣瓶上應附有GB190中制定的標志。
包裝:
四氟化碳可用無縫鋼瓶或鋁合金容器裝運,通常采用47L、40L、10L、8L等無縫鋼瓶充裝,充裝壓力12.5MPa,也可根據客戶需要選用各種容器的氣瓶。

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